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    更新时间:2022-01-15 10:21:50 信息编号:1693291
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    12月20日,《上海市高端装备产业发展“十四五”规划》(下称“规划”)发布。《规划》提出,  到2025年,初步建成具有全球影响力的高端装备创新增长极与核心技术策源地。


    具体来看,包括高端装备产业工业产值突破7000亿元,市级特色产业园区数达到20家以上;建设国家和市级企业技术创新中心100个,实现关键装备与核心部件首台(套)突破300项;建设高端装备市级智能工厂40家以上等。


    “十四五”期间,上海市将推动智能制造装备、航空航天装备、舶海海工装备、高端能源装备等优势产业创新升级,节能环保装备、高端医疗装备、微电子装备等重点产业快速增长,重点细分领域从国际“跟跑”“并跑”向“领跑”迈进。




    其中,在微电子装备领域,《规划》指出,以自主可控、创新升级为重点,加快微电子装备迭代升级,强化本地部件配套能力,围绕12英寸大生产线需求,初步建成较完备的集成电路核心装备自主供给体系。


    一是集成电路装备,瞄准光刻、刻蚀、湿法、沉积、离子注入、量测检测等工艺环节,推进先进光刻机、高端刻蚀机、晶圆清洗设备、离子注入设备、气相沉积设备、量测检测设备、先进封装设备等核心产品研发,在关键制程实现产业化突破;加强核心零部件本土保障能力,推进光学、过滤、真空、运动、电控、密封、陶瓷等零部件攻关。


    二是新型显示装备,推进高世代线高端光刻机、有机材料蒸镀设备、化学气相沉淀设备、量测设备、光配向设备、张网设备等装备研发突破,加强在各世代产线先进制程中的串线应用。



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